擴散泵：
(1)擴散泵的原理：在前級真空泵所造成的低真空條件下，加熱泵內硅油，使受熱沸騰蒸發，生成蒸氣，以極高速度通過該泵的各級噴口的縫隙噴出，使容器內部的氣體分子擴散到蒸汽中被帶到前級真空泵所能作用的位置，由前級真空泵迅速抽出，使系統達到高真空的要求。
(2)使用要求：泵在使用前，應先用自來水沖刷，除去浮塵，后用洗液罐入充分洗滌，再用清水及蒸餾水洗凈吹干，最后罐入規定容量的572。電熱功能應大致符合規定，并應用變壓器調節電壓，慢慢調至恰當的位置，從200至220之間便適應工作要求。
1894 四級油擴散泵（GG－17玻璃）：
     玻璃油擴散泵由于在使用過程中易于清洗，檢漏和密封，并能直接觀察泵內油的蒸發狀態，故被廣泛采用作為高真空抽氣設備。其數據如下：
抽速  極限壓強   加熱功率  加油量  泵體高  泵直徑  進氣口徑  出氣口徑
升/秒   モ          W       ml      mm      mm        mm        mm
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130  1×10ˉ8      800       120    約530    120       35       15
1895 三級油擴散泵（GG－17玻璃）：
     本擴散泵使用原理性能與1894四級擴散泵相似，只是體積及抽速略小，價格便宜，適用于要求較低真空系統用。其技術數據如下：
抽速(升/秒)     極限真空(モ)     用油量ml      泵直徑mm      全高mm
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60～80           5×10ˉ7          150           100           530
GG—17玻璃三級、四級高真空油擴散泵 使用時特別提醒操作人員
使用時注意事項
1． 在加油時用漏斗從排氣管內輸入，推薦使用的油請用四川產晨光牌275＃擴散泵硅油。
2. 泵的加熱電爐可采用4英寸左右爐盤與泵底部最佳距離為5m/m-10m/m左右。
3. 泵在使用時,切勿斷水，如突然斷水應即關電爐，冷卻水進出口必須扎緊防止水壓高時沖擊脫皮管，按排就緒后，應先開啟機械泵等系統中真空度達到10—2Pa時，方可開啟電爐加熱。同時打開冷卻水。
4. 使用結束后先應切斷熱源，等泵冷卻后方可停止機械泵工作。以防“工作液”氧化。
5. 如果發現“工作液”(硅油)顏色變(深黃到黑)說明硅油已變質需更換。
6. 加熱電爐不要大于擴散泵底部10m/m，如太大應用石錦板封去多余部分。電爐裝置可以調溫，加熱到硅油沸騰時，將溫度調到恒溫，保持硅油正好連續沸騰。第二次使用時，電爐升溫一定要緩慢， 急加溫會導致玻璃產生強應力，縮短擴散泵的使用壽命。玻璃擴散泵最適應是：24小時連續工作，但大多數單位不是三班制，只好每天開關。應每電爐加熱一次，玻璃就產生一次應力，次數多了，應力就嚴重了，久而久之，擴散泵就自然而然的破裂報廢了。
7．GG-17耐熱急變240℃—250℃(以250ml燒杯樣品)是指在無應力情況下測試的，待擴散泵底部應力的增加，耐熱急變溫度隨之下降，使用壽命因此而縮短。